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NIST溯源尺度標(biāo)準(zhǔn)，用于需要高度視覺反差的尺度標(biāo)和參考應(yīng)用領(lǐng)域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測(cè)和標(biāo)提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復(fù)合儀器廠家所需的各種規(guī)格。SURF-CAL系列產(chǎn)品完符合SEMI行業(yè)協(xié)會(huì)的建立的SSIS標(biāo)指導(dǎo)準(zhǔn)則， 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍， 覆蓋了半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖（ITRS）所義的關(guān)鍵質(zhì)控點(diǎn)

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